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公司动态

我公司产品主要成功项目

CVD工艺

文字:[大][中][小] 2021-6-15  浏览次数:9415

化学气相淀积系统(CVD)


用于淀积氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜,广泛应用于半导体集成电路工艺中的多层布线、表面钝化, 等CVD工艺。我公司生产的CVD系统主要为低压化学气相淀积系统。

 

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